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商品編號：94131

價(jià) 格：詢價(jià)

產(chǎn) 地：更新時(shí)間：2021-03-29 17:21

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性能

可用量程：0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm（參見零件編號標(biāo)簽）
可調(diào)比：200:1（1/20和50 slpm）或100:1（100 sccm）
校準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（1.5%讀數(shù)+0.5%滿量程）
可重復(fù)性：0.5%滿量程
標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：100ms（可利用PID調(diào)節(jié)功能調(diào)節(jié)）
預(yù)熱時(shí)間：70ms，達(dá)到完整精度

工作條件

兼容氣體：空氣、氬氣、二氧化碳、氮?dú)狻⒀鯕狻⒁谎趸赏ㄟ^串行連接選擇氣體）；訂購時(shí)還可以選擇氦氣或氫氣校準(zhǔn)（僅使用一種氣體）
工作溫度：0°C至+50°C
大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：對于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig（160 psia）；對于0-20和0-50 slpm量程—60 psig（75 psia）
耐受壓力：175 psig（190 psia）
STP： 25°C & 1 atm（14.696 psia）

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