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型紫外單面光刻機(jī)

價(jià)  格:詢價(jià)

產(chǎn)  地:更新時(shí)間:2021-01-19 15:35

品  牌:型  號:URE-2000/25

狀  態(tài):正常點(diǎn)擊量:2917

400-006-7520
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上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

聯(lián) 系 人: 上海非利加實(shí)業(yè)有限公司

電   話: 400-006-7520

傳   真: 400-006-7520

配送方式: 上海自提或三方快遞

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URE-2000/25 型紫外單面光刻機(jī)

 

技術(shù)參數(shù)

。曝光面積:4 英寸

。曝光波長:365nm

。分辨力:1 μm(膠厚 2 μm的正膠)

。對準(zhǔn)精度:± 0.8μm

。掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍:X:15mm;Y:15mm

。掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸

。樣片尺寸:直徑 Ф15mm-- Ф100mm(各種不規(guī)則片),厚度 0.1mm--6mm

。曝光方式:定時(shí)(***方式)和定劑量

。照明不均勻性: 3%( Ф100mm 范圍)

。雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡:既可通過目鏡目視對準(zhǔn),也可通過 CCD+顯示器對準(zhǔn),光學(xué)合像,光學(xué)倍數(shù) 400 倍, 光學(xué)+電子放大 800 倍

                        物鏡三對:4 倍、10 倍、20 倍

                        目鏡三對:4 倍、10 倍、20 倍

。掩模相對于樣片運(yùn)動(dòng)行程:

       X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±

。焦厚:350μm(SU8 膠,用戶提供檢測條件)

。光源平行性:3.5 º

。曝光能量密度:>20mW/cm2,照明面溫度<35 º

。汞燈功率:350W(直流,進(jìn)口)33

 

2.外形尺寸:1200mm(長)x900mm(寬) x1750mm(高)

 

3.配置

(1)曝光頭

。冷光橢球鏡

。350W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德***歐司朗)

。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺

。冷卻風(fēng)扇

。光學(xué)系統(tǒng):固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組(79 個(gè)透鏡)、i 線濾光片、場鏡1、場鏡 2、冷光反射鏡 1、反射鏡 2

 

(2)對準(zhǔn)工件臺

。掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺

。掩模樣片相對運(yùn)動(dòng)臺

。轉(zhuǎn)動(dòng)臺

。樣片調(diào)平機(jī)構(gòu), 手動(dòng)

。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu),手動(dòng)

。承片臺 3 個(gè)(Ø50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm)

。掩模夾 4 個(gè)(2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸)

。基片抽拉式上下機(jī)構(gòu)

 

(3)對準(zhǔn)顯微鏡

。光源(配備品 2 只)、電源

。雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體

。目鏡 3 對(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 個(gè))

。CCD 及 21 英寸液晶顯示器

。物鏡 3 對(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 個(gè))

 

(4)電控系統(tǒng)

。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)

。單片機(jī)控制系統(tǒng)

。控制箱

 

(5)氣動(dòng)系統(tǒng)

。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開關(guān)等

。電磁閥驅(qū)動(dòng)

。氣動(dòng)儀表

 

(6)其他附

。真空泵***臺

。空壓機(jī)***臺

。管道


產(chǎn)品參數(shù)


產(chǎn)品介紹




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