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CAMECA 二次離子質(zhì)譜儀（IMS 7f）的主要優(yōu)勢(shì)在于其極高的靈敏度、高空間分辨率（亞微米***橫向分辨率，納米***深度分辨率）以及同位素分辨本領(lǐng)。因其 ppb 水平檢測(cè)極限以及高分析速度和可靠性，IMS 7F 成為遍布全球的眾多獨(dú)立分析實(shí)驗(yàn)室的主力軍。

CAMECA的SIMS技術(shù)***世界。無(wú)與倫比的性能得益于其獨(dú)有的基于磁扇區(qū)原理的儀器設(shè)計(jì)。

? 靈敏度：CAMECA IMS 7f 工作是的有效離子產(chǎn)率(useful yields- secondary ion detected per atomsputtered)比四極桿分析器高達(dá)100倍。做***次通常的深度剖析或者成像分析，以獲得同樣靈敏度所用時(shí)間相比，是TOF類SIMS的千分之***。(或反過(guò)來(lái)說(shuō)，同樣的分析時(shí)間，TOF SIMS的靈敏度要低達(dá)1000倍)。

? 質(zhì)量分辨: CAMECA IMS 7f 可以分辨絕大多數(shù)質(zhì)譜中存在的質(zhì)量干擾，例如，31P與H30Si, 56Fe與28Si or 17O與H16O。這些干擾使得低質(zhì)量分辨率質(zhì)譜儀（比如四極桿類型）的探測(cè)極限大打折扣。CAMECA的SIMS獲得高質(zhì)量分辨率的同時(shí)并不會(huì)降低分析速度，這是TOF質(zhì)譜儀無(wú)法做到的。

? 離子成像：CAMECA IMS 7f 可以對(duì)所選質(zhì)量給出顯微鏡模式的圖像，分辨率達(dá)到***微米。從時(shí)間上看，這種模式下獲得圖像的速度比常規(guī)的掃描圖像模式(microprobe mode)要高幾個(gè)數(shù)量***。這種模式下還可以大大縮短調(diào)試設(shè)備的時(shí)長(zhǎng)。
若想獲得亞微米***分辨率的圖像，CAMECA IMS 7f 需要采用微探針模式，依靠動(dòng)態(tài)光學(xué)傳輸以及高亮離子源達(dá)到業(yè)界***高水準(zhǔn)的靈敏度和分辨率。

? 高分析效率: A high efficiency optical gate is used to eliminate crater edge effects for combining high sputter rate and high dynamic range in the depth profile mode. Full computer control of the instrument allowing unattended analyses with different analysis recipe