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SJ6000采用美***進口高穩頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術、高精度環境補償模塊、 幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術，實現各種參數的高精度測量。通過激光熱穩頻控制技術，實現快速(5~10 分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號，然后通過高精度激光 干涉信號處理系統得到干涉數據，將數據通過計算機進行顯示和動態分析。

使用時，操作者先按照設計的幾何光路安裝相配合的鏡組，幾何光路是以邁克爾遜型激光干涉儀原理為基礎設計的，下圖是邁克爾遜干涉儀的基本原理圖：

邁克爾遜干涉儀的原理是***束入射光分為兩束后各自被對應的平面鏡反射回來，這兩束光從而能 夠發生干涉。干涉中兩束光的不同光程可以通過調整干涉臂長度以及改變介質的折射率來實現，從而形成不同的干涉圖樣。干涉條紋是等光程差點的軌跡，因此，要 分析某種干涉產生的圖樣，必求出相干光的光程差位置分布函數。

搭建好幾何光路后，在檢定軟件上設定測量的開始、結束位置，點擊“開始”按鈕，軟件界面會實時顯示測量所得動態數據；掃描結束后，操作者可通過對測量所得 數據曲線進行分析，得到如長度、角度、直線度、垂直度、平面度等參數。并根據系統內置的檢測標準對被測件的各項參數進行合格判定，檢測結束后自動生成檢定 結果。