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現在位置首頁>光學儀器>電子顯微鏡> 場發(fā)射掃描電鏡

SEM掃描電鏡原位等離子處理儀

價  格:詢價

產  地:更新時間:2021-01-18 15:20

品  牌:型  號:RPS-50

狀  態(tài):正常點擊量:2193

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現象描述:

樣品在電鏡中長時間成像,或進行EDX成分分析過程中,可能會在測試區(qū)域形成“黑色方框”,這通常是由聚合物碳沉積引起。

成因分析:

當高能電子撞擊樣品表面時,它們產生大量低能二次電子(SE)。SE由于其較低的速度而與環(huán)境污染物氣體分子具有高得多的相互作用面。它們分解有機污染,并在成像區(qū)域周圍造成“碳沉積”(碳氫化合物或烴)。當表面被薄層烴覆蓋時,二次電子產率將降低。

負面影響:

由于積碳影響,電子暴光區(qū)域將比周圍的未曝光區(qū)域更暗,減少了電子顯微鏡圖像中的材料對比度。研究表明,導電性越好,二次電子產額越高的樣品,其發(fā)生碳沉積也越快。原因在于,對于這類觀察樣品,表面碰撞出SE越多,所以導致相互作用在表面生成的烴也越多越快。甚至隨碳積影響,表面會累積電荷導致無法清晰成像。

更有甚者,碳氫化合物污染嚴重的時候,可能會導致電子光學成像部件及探測器等污染使電子束及成像漂移

解決方案:

離子源通入氧氣后產生的等離子體被電磁場束縛于離子源內部, O活性自由基與SEM腔室內碳氫化合物反應生成CO2COH2O等被真空機組抽走,*終實現SEM腔室/樣品積碳清洗之目的,同時提高SEM成像分辨率及襯度,縮短電鏡抽真空時間。





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