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SC3000新型濺射鍍膜儀(12英寸)

Quorum/Emitech***近投放市場的新型臺式濺射鍍膜儀SC3000，可適合電鏡制樣和12英寸晶圓快速鍍膜等用途。這個新型濺鍍系統重要特點和優點在于它緊湊的腔室尺寸、***少的抽真空時間和***大的制樣產量。
這個采用全自動控制的新型系統能夠在***次真空條件下順序濺鍍多達三層不同的金屬膜，靶材可選菜單有15種預設工作程序的材料，還能自動探測放入的晶圓尺寸如100，150，200或300mm。具有渦輪泵的高真空鍍膜儀使用標準濺射靶材，在系統中允許使用多種靶材，如易氧化金屬和貴金屬。

SC3000濺射儀系統可對12英寸（300mm）晶圓進行噴鍍。它具有多靶濺射，在不破壞真空的情況下，可進行三層順序涂層。
此儀器為高真空、高分辨率鍍膜系統，它可進行精細及精確、可重復的鍍膜。
SC3000中配有三個磁電管靶，可鍍超大直徑的樣品，加之可旋轉的樣品臺，保證了均勻沉積。這種方式不需要特大的靶面，而用標準靶即可。
多靶系統在半導體晶圓工業尤為適用。它使用渦輪分子泵，前***為旋轉機械泵。集成的儀器面板和即插即用的電子學***大的“up-time”，以及用戶友好設計，保證了多學科領域滿意的應用。
濺射參數可預設，包括氣體放氣電磁針閥。
在全自動鍍膜過程中，獨立的真空泵自始自終由儀器自動控制。可用金作為濺射靶材，也可選用需要預清潔或去除氧化層的靶，如鉻靶。
閘門已作為標準配置，該裝置允許在維持真空的同時可進行濺射清潔和濺射循環。

● 模塊化控制電子學單元
● 清潔的真空設計
● 旋轉樣品臺
● 多靶濺射（配有濺射清潔光閘）
● LCD 狀態/數據登錄顯示
● 用戶菜單輸入可存貯10個方案
● LCD顯示（真空、時間及電流）
● 靈敏的真空測量頭（操作真空全范圍顯示）
● 具有ISO 100 Flange渦輪分子泵抽氣系統，（可選更大的泵）240 L/sec
● 整個全自動程序包括凈化非常快—15分鐘
● Peltier冷卻靶面—無需循環水
● 不用打開真空即可進行三層順序鍍膜

SC3000新型濺射鍍膜儀(12英寸)

儀器尺寸：450mm W x 500mm D x 300mm H （整個高度650mm） 重量：55公斤
工作腔室：不銹鋼 300mm Dia x 200mm H（具有觀察窗口）
靶：三靶54 mm 直徑 x 0.3mm 厚鉻作為標準靶材（各種靶材可選，如：金、鉑、金/鈀合金）
旋轉樣品臺：適合6英寸及12英寸晶圓可調，
與靶的距離為60mm
真空范圍：ATM-1x10-5 mbar
操作真空：1 x 10-3 mbar到 1 x 10-4 mbar
沉積電流：0-750mA
沉積速度：0-10nm/分
濺射定時：0-4 分鐘
電源：230 伏 50Hz (包括泵最大電流為10安培)
115 伏 60Hz (包括泵最大電流為20安培)
Services：Argon - Nominal 10 psi Nitrogen：Nominal 10 psi (Argon may be used as common gas)
前級旋轉泵：No5真空泵, 85L/Min complete with Vacuum Hose and Oil Mist Filter. 8m3/Hr.

SC3000新型濺射鍍膜儀(12英寸)