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詳細(xì)參數(shù)

* 1：玻璃折射率相同。 

* 2：硅折射率相同。 

* 3：測(cè)量硅時(shí)為標(biāo)準(zhǔn)偏差。 

* 4：可選1000毫米工作距離的型號(hào)。 （型號(hào)C11011-01WL） 

* 5：***短曝光時(shí)間。

產(chǎn)品特性

● 利用紅外光度測(cè)定進(jìn)行非透明樣品測(cè)量 

● 測(cè)量膜厚度范圍（玻璃）：25μm-2900μm 

● 測(cè)量速度高達(dá)60 Hz 

● 可測(cè)量層數(shù)：10層 

● 測(cè)量帶圖紋晶圓或帶保護(hù)膜的晶圓 

● 工作距離長(zhǎng)

● Mapping功能 

● 可外部控制

外形尺寸（單位：mm）

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

C11011-21W型光學(xué)微米膜厚測(cè)量?jī)x利用激光干涉法原理，測(cè)量速度達(dá)60Hz，適用于產(chǎn)品線上在線測(cè)量。此外，與mapping工作臺(tái)聯(lián)用可以用于測(cè)量指定樣品的厚度分布。C11011-21W應(yīng)用廣泛，比如用于產(chǎn)品制造過(guò)程監(jiān)控或質(zhì)量控制。 

C11011-21W可測(cè)玻璃膜厚范圍分別為25 μm 到2900 μm 和10 μm 到 1200 μm，可測(cè)層數(shù)zui多為10層。