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特點
獨特的參比環(huán)設(shè)計-實時消除大部分熱漂移
光學(xué)顯微鏡自動控制觀測系統(tǒng)
帶有反饋系統(tǒng)的載荷加載系統(tǒng)
壓入深度的電容性差分測量
計算機軟件包，自動進行數(shù)據(jù)獲取、儲存、分析等

選件
其它力學(xué)測試模塊（如微納米劃痕、超納米壓痕等）
真空及環(huán)境(溫度、濕度）控制
原子力顯微鏡成像系統(tǒng)
高分辨率視頻光學(xué)顯微鏡
環(huán)境隔離罩
高分辨率X、Y工作臺 （精確到0.25微米）
 

載荷范圍：0-500mN
載荷分辨率：40nN
最大壓入深度：200um
位移分辨率： 0.04nm
 

納米壓入測試儀 (0.1 - 500mN)
納米壓入測試儀主要適用于測量納米尺度的硬度與彈性模量，測量結(jié)果通過載荷及壓入深度曲線計算得出，無需應(yīng)用顯微鏡觀測壓痕面積。納米壓入測試儀可被用于有機或無機、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩繪釉漆，光學(xué)薄膜，微電子鍍膜，保護性薄膜，裝飾性薄膜等等。基體可以為軟質(zhì)或硬質(zhì)材料，包括金屬、合金、半導(dǎo)體、玻璃、礦物和有機材料等。